真空浸泡後油峰有所增加的事實表明，從油蒸氣對容器所造成的汙染來說，除泵正常運轉中的返流外，在係統沒有隔離閥的情況下，主要是係統在真空浸泡期間發生的。

　　因為這時泵已停止工作，失去了抽氣作用，而係統仍處於真空，原先吸附障板冷麵上的大量返流物會因升溫而解吸，幾乎是毫無阻礙地返進容器重又吸附於器壁上。

　　這樣，在下一次運轉中，由於汙染物的解吸很緩慢，使係統的清潔程度變壞，也大大延長了抽氣時間。

　　此外，真空靜置期間，泵液也可能通過蒸發、爬移等途徑對容器壁造成汙染。克服這一問題的方法除在係統中設置隔離閥外，簡便可行的方法是采用充氮保護。

　　通過實驗研究，得到如下幾點結論：

　　①由機械泵和擴散泵組成的抽氣係統中，若不采取阱、障板等降低泵液返流措施，擴散泵和機械泵工作液的返流是限製係統極限壓力的主要因素之一。

　　②氟裏昂單層人字形障板和設計良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流，其捕獲效率分別大於0.9和0.99

　　③烘烤是去除表麵汙染和降低表麵放氣的有效方法。

　　250℃，8h烘烤，結合障板和阱的效果，能獲得好於3.06×10-8Pa酌真空，剩餘氣體中泵液汙染物檢測不到。估計泵液返流率<7×10 -12g/min.cm/。剩餘氣體主要組分是H2(約占78.3%)，其次是C、CO和N2。C主要來自鎢燈絲。

　　④泵液對容器的汙染除泵正常運轉外，主要是係統停止運轉期間原來冷凝於阱中的大量冷凝物的解吸，以及真空靜置期間油的蒸發爬移。在容器與阱間設有隔離閥的情況下，采用充氮保護運轉方法能有效地降低上述汙染過程。

　　⑤真空浸泡是降低表麵放氣的簡便方法，既縮短了抽氣時間，又提高了極限真空度。

　　值得提出的是：用油擴散泵抽氣係統完全能夠獲得既清潔、油汙染又小的真空環境。

　　它有賴於合理的係統結構和正確的運轉程序兩個方麵。

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