檢漏的目的在於將泄漏降低到一個可以接受的，不影響係統正常運行的程度。

　　選擇氦氣檢漏的好處：

　　1、在空氣中含量低(隻有5ppm)，本底濃度低;

　　2、惰性氣體不易燃，不易爆，對環境無汙染，不與其他物質反應;

　　3、無毒;

　　4、在質譜儀中和其他相鄰物質可以很好的分別;

　　5、比空氣輕;

　　6、氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔。

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