首先檢查真空容器所處狀態，處於真空下或者處於大氣中。決定了兩種啟動真空設備的程序：第一種，真空下操作程序。第二種，大氣狀態下操作程序。

　　1、如果容器處於低真空狀態下，不能立即打開閘板閥以免引起真空油的回流。

　　正確的操作步驟是先打開水龍頭，然後打開機械泵，同時打開真空計電源，觀察真空計讀數到達30Pa左右時，再打開分子泵，看到分子泵的工作頻率達到50Hz左右時方可打開閘板閥。

　　2、如果容器處於大氣下，首先要做的是檢查大漏，即關閉容器大門和放氣閥。然後打開水龍頭，閘板閥，機械泵，真空計電源，觀察真空計讀數到達30Pa左右時，再打開分子泵。

　　3、等到分子泵正常工作後(工作頻率穩定在450Hz)，按下真空計中電離計單元的啟動鍵對真空度進行觀測。

　　4、在真空達到 Pa時可以打開離子泵，此時先關閉分子泵處的閘板閥，但不要關閉分子泵，等到離子泵的電壓達到4000V時(離子泵穩定工作後)再關掉分子泵，機械泵。

　　5、如果不需要維持真空時，先關掉真空計電源，後隻需要把離子泵的閘板閥關閉即可，不關閉離子泵，而是讓離子泵處於工作狀態保持其內部環境。

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