擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。

　　工作原理

　　擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)後產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。

由於擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高於蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。

氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。

經過幾次碰撞後，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，最後由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝後又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。

　　高真空泵擴散泵主要結構有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等。

　　性能參數

　　通常擴散泵的性能是以極限真空、最大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

　　1.極限真空

　　如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力範圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機械泵的極限壓力，因此，油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa後才能開始工作。

　　2.最大反壓強

　　最大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強最大值。如果前級泵所產生的壓強高於最大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。

　　3.抽氣速率

　　擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

　　4.設置冷阱及低溫擋板的原因

　　由於擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現象在低溫實驗室中要特別注意。

如在擴散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫擋板，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。

　　影響油擴散泵性能的因素如下：

　　1、油擴散泵的返流。

　　2、氣體分子的反擴散。

　　4、泵清洗不幹淨，汙染物質留在泵內並重複循環，影響其真空度。

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